由于SF6气体监测具有优越的绝缘性能、灭弧性能和散热性能,自20世纪60年代早期,SF6气体监测就被应用在电力输配电系统的高压设备中,20世纪80年代早期,出现了第一台用SF6气体绝缘的中压开关设备。目前SF6气体监测在高压领域主要应用于断路器、GIS组合电器和复合开关,以SF6气体为绝缘的设备中高压、超高压占绝对主导地位。在中压领域,主要应用在以SF6气体监测绝缘的高压开关成套设备(C—GIS、充气环网柜)、断路器及负荷开关等中。除用于高压开关设备外,SF6气体也开始向中高压输变电设备中的互感器、电容器、避雷器、熔断器、气体绝缘输电管道和变压器等领域发展。
　　目前从12～1000kV的所有电压等级的电力设备都在广泛使用。中压领域虽仍以真空开关为主,但以SF6气体监测绝缘的设备增加很快。由于SF6气体监测的应用范围的扩大,对环境的影响在世界范围内引起广泛关注。2005年2月16日,旨在限制并减少全球温室气体排放的《京都议定书》正式生效,并规定发达国家应减少排放总量。SF6气体监测是《京都议定书》中规定的限制排放的六种温室气体之一,SF6气体监测向大气的排放主要是通过电力输变电设备在试验研究、生产制造、运输和运行以及检修过程中产生的。如何趋利避害,安全使用SF6气体监测已引起国内多方关注。